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  • HAMAMATSU 日本濱松EMMI/OBIRCH微光顯微鏡PHEMOS系列
    HAMAMATSU 日本濱松EMMI/OBIRCH微光顯微鏡PHEMOS系列
    PHEMOS-1000 是一款高分辨率微光顯微鏡，它能通過探測半導體器件缺陷導致發射的微弱光和熱來定位失效位置。由于 PHEMOS-1000 可與通用探測儀結合使用，因此您可以使用您已經熟悉的樣品設置來執行各種分析任務。安裝可選的激光掃描系統可以采集高分辨率圖案圖像。不同類型的探測器可用于各種分析技術，例如發射分析、熱分析和 IR-OBIRCH 分析。
    型號：PHEMOS-1000 / PHEMOS-X
    發布時間：2023-10-09
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